沈陽干式真空泵

干式真空泵主要用途
1、半導體:芯片生產、刻蝕、離子注入、PECVD、 PVD鍍膜；
2、平板顯示器:液晶灌注、PVD真空鍍膜、離子刻蝕；
3、LED:刻蝕、PECVD、 電子束蒸鍍、磁控濺射、藍寶石爐；
4、太陽能電池制造領域: PECVD、 層壓機、刻蝕、單晶爐；
5、石油化工:油汽回收、真空蒸餾、溶劑回收；
6、制藥:溶劑萃取、溶媒回收、真空干燥、真空濃縮7、食品:真空干燥、真空包裝。
干式真空泵產品特點
1產品安全可靠，符合CE及SEMI認證；
2產品性能穩定、可靠性高；
3產品運行、維護成本低；
4產品工藝適應性廣；
5產品具備智能控制模式，可提供多種應用擴展。