反應燒結碳化硅懸臂槳

反應燒結碳化硅懸臂槳，是半導體晶圓裝載系統(tǒng)的關鍵部位。反應燒結碳化硅懸臂槳性能穩(wěn)定，在高溫環(huán)境下不變形，晶圓裝載量大，適用于機器人自動裝載和搬運系統(tǒng)。由于懸臂槳截面穩(wěn)定不變形，使得利用現有的爐管制備更大規(guī)格晶圓成為可能。懸槳與LPCVD涂層在熱膨脹系數相近，應用于LPCVD,極大地延長了維護清洗周期，并大幅減少污染物。