DH2004型 多功能微波等離子體實驗裝置 由微波源、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、微波傳輸及微波諧振腔組成；由微 波源產(chǎn)生頻率為2.45GHz的微波，沿矩形波導管傳輸，在水冷諧振腔反應(yīng)室內(nèi)激勵 氣體形成軸對稱的等離子體球。 　　可完成以下實驗：微波等離子體化學氣相沉積法制備多種功能薄膜材料、微 波等離子體刻蝕加工實驗、材料表面改性和清洗等；適合大學物理、材料、化學 等領(lǐng)域的學生實驗及教師科學研究。