爐體溫控控制在900到1300℃，溫度高精度可控，VB具有晶體和加熱爐體分別單獨(dú)升降；HB水平高精度移動(dòng)等控制，運(yùn)動(dòng)速度0.01--50mm/小時(shí)可調(diào)，有效完成砷化鎵晶體生長(zhǎng)。

爐體溫控控制在900到1300℃，溫度高精度可控，VB具有晶體和加熱爐體分別單獨(dú)升降；HB水平高精度移動(dòng)等控制，運(yùn)動(dòng)速度0.01--50mm/小時(shí)可調(diào)，有效完成砷化鎵晶體生長(zhǎng)。

爐體溫控控制在900到1300℃，運(yùn)動(dòng)速度0.01--50mm/小時(shí)可調(diào)，使晶棒內(nèi)部晶體重新排列。特點(diǎn)：爐體冷區(qū)和熱區(qū)之間采用獨(dú)特設(shè)計(jì)，可以達(dá)到15℃/cm的溫度梯度。

 LPE液相外延爐采用進(jìn)口穩(wěn)定可靠的智能儀表，能夠?qū)崿F(xiàn)整個(gè)工藝過(guò)程的自動(dòng)控溫。以進(jìn)口直線電機(jī)為主體，系統(tǒng)定位且無(wú)抖動(dòng)，加速度大能快速啟動(dòng)，可快速精準(zhǔn)的將生長(zhǎng)材料移動(dòng)至下一個(gè)生長(zhǎng)點(diǎn)。 

 LPE液相外延爐采用進(jìn)口穩(wěn)定可靠的智能儀表，能夠?qū)崿F(xiàn)整個(gè)工藝過(guò)程的自動(dòng)控溫。以進(jìn)口直線電機(jī)為主體，系統(tǒng)定位且無(wú)抖動(dòng)，加速度大能快速啟動(dòng)，可快速精準(zhǔn)的將生長(zhǎng)材料移動(dòng)至下一個(gè)生長(zhǎng)點(diǎn)。 

青島賽瑞達(dá)電子裝備股份有限公司是集高新技術(shù)裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的專業(yè)廠家，產(chǎn)品覆蓋半導(dǎo)體、光伏、LED、新能源、新材料等領(lǐng)域，公司于2005年注冊(cè)成立，屬于國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)。  主要

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青島賽瑞達(dá)電子裝備股份有限公司是集高新技術(shù)裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的專業(yè)廠家，產(chǎn)品覆蓋半導(dǎo)體、光伏、LED、新能源、新材料等領(lǐng)域，公司于2005年注冊(cè)成立，屬于國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)。  主要